CMP抛光垫,预测期内复合年增长率为8.3%
化学机械抛光/平坦化(CMP)是一种通过化学作用与机械(或研磨)作用相结合来去除材料,从而获得高度光滑和平整材料表面的工艺。该工艺在半导体行业中作为标准制造流程,用于制造集成电路和存储磁盘。当以去除表面材料为目的时称为化学机械抛光,而以表面平坦化为目的时则称为
化学机械抛光/平坦化(CMP)是一种通过化学作用与机械(或研磨)作用相结合来去除材料,从而获得高度光滑和平整材料表面的工艺。该工艺在半导体行业中作为标准制造流程,用于制造集成电路和存储磁盘。当以去除表面材料为目的时称为化学机械抛光,而以表面平坦化为目的时则称为
二氧化硅CMP浆料(SiO2-CMP浆料),是化学机械抛光浆料的一种,是使用纯度99.999%以上、粒径在20-20nm之间的二氧化硅作为研磨颗粒,再添加pH值调节剂、分散剂、稳定剂等助剂制造而成的应用在化学机械抛光领域的浆料。
本次分享的报告全面概述了半导体制造中用于混合键合(Hybrid Bonding)的化学机械抛光(CMP)技术。CMP 被定义为一种结合化学与机械作用以实现薄膜平坦化的关键技术。报告深入探讨了 CMP 在混合键合中的作用,强调了其在实现可控凹陷和表面粗糙度方面的